水冷燃焼式バーナー（化石燃料仕様）
Blisters Burner（ブリスターズバーナー）
従来の CooL Burner / Little CooL / Corona Burner の後継機種として新たに開発した水冷燃焼式排ガス処理装置です。
CVD, エッチング, ALD, PVD, SiC-EPI, GaN-EPI ...等、様々なプロセスから排出される毒性ガス、PFCガス等の難分解性ガスを高効率で燃焼分解し、無害化します。
内蔵スクラバーにて燃焼ガスの冷却および分解後に発生する2次生成物の処理を行います。
処理流量に応じて、Blisters Burner 125 / 500 / 1000 の3タイプからご提案いたします。
※水を使用しない空冷式もご提案可能です。
特長
- ユニット化によるメンテナンス性向上
- メンテナンスコスト削減 →交換部品点数を低減
- 水封バブリング構造による清掃メンテナンス周期の長期化
- 処理流量の増量 →従来モデル比 20%増
- フットプリント低減 ※メンテナンススペース込で従来モデルから約40%低減
- 排気吸引機能内蔵 (エゼクター or 排気ファン)
- オンデマンド運転機能標準装備
- バーナー部自動洗浄機能搭載 (オプション)
- 遠隔監視システムによるリモートサポートが可能 (オプション)
処理対象ガス（例）
| 対象装置 | ガス種（例） | |
|---|---|---|
|
CVD/ALD |
Depo | SiH₄、NH₃、N₂O、SiH₂Cl₂、TEOS、O₃、WF₆、各種プリカーサー等 |
| CLN | NF₃、ClF₃、HCl等 | |
| 各種ETCH | HBr、BCl₃、Cl₂、SiCl₄、C₄F₆、CF₄、C₂F₆、SF₆、CHF₃等 | |
| SiC-EPI, GaN-EPI | SiH₄、NH₃、H₂、HCl、C₃H₈、SiHCl₃ | |
仕様
| シリーズ | Blisters Burner | |||
|---|---|---|---|---|
| 125 | 500 | 1000 | ||
| 使用燃料 | C₃H₈、13A、C₂H₄ | |||
| 最大処理流量(slm) | 125 | 500 | 1,000 | |
| 処理ポート数 | 1 | 1～4 | 1～5 | |
| 寸法(mm) | W | 900 | 1,000 | 1,200 |
| D | 900 | 1,000 | 1,200 | |
| H *1 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | |
| メンテナンススペース(mm) | 正面 | 800 | ||
| 背面 | 800 | |||
| ユーティリティ | 電気、N₂、DA、工水、O₂*2、排気、筐体排気 | |||
*2 難分解性ガスを含む場合