水冷燃焼式バーナー
Blisters Burner（ブリスターズバーナー）
従来の CooL Burner / Little CooL / Corona Burner の後継機種として新たに開発した水冷燃焼式排ガス処理装置です。
CVD, エッチング, ALD, PVD, SiC-EPI, GaN-EPI ...等、様々なプロセスから排出される毒性ガス、PFCガス等の難分解性ガスを副生成物(NOx, CO等) を抑制、高効率で燃焼分解し、燃焼ガスは内蔵スクラバーにて冷却します。
分解後に発生する2次生成物も処理可能です。
処理流量に応じて、Blisters Burner 125 / 500 / 1000 の3タイプからご提案いたします。
※水を使用しない空冷式もご提案可能です。
特長
- 処理流量の増量
従来モデル比 20%増
- フットプリント低減
メンテナンススペース込で従来モデルから約40%低減
- メンテナンスコスト削減
交換部品点数を低減
- 水封バブリング構造による清掃メンテナンス周期の長期化
- バーナー部自動洗浄機能搭載 (オプション)
- 排気吸引機能内蔵 (エゼクター or 排気ファン)
- オンデマンド運転機能標準装備
- ユニット化によるメンテナンス性向上
処理対象ガス（例）
| 対象装置 | ガス種（例） | |
|---|---|---|
|
LP-CVD, ALD, W-CVD,P-CVD, 拡散炉 |
Depo | SiH4, NH3, N2O, SiH2Cl2, TEOS, O3, WF6, 各種プリカーサー 等 |
| CLN | NF3, ClF3, HCl 等 | |
| 各種ETCH | HBr, BCl3, Cl2, SiCl4, C4F6, CF4, C2F6, SF6, CHF3 等 | |
| SiC-EPI, GaN-EPI | SiH4, NH3, H2, HCl, C3H8, SiHCl3 | |
仕様
| シリーズ | Blisters Burner 125 | Blisters Burner 500 | Blisters Burner 1000 | |
|---|---|---|---|---|
| 使用燃料 | 都市ガス、プロパン、C2H4、H2*1 | |||
| 最大処理流量(slm) | 125 | 500 | 1,000 | |
| 処理ポート数 | 1 | 1～4 | 1～5 | |
| 寸法(mm) | W | 900 | 1,000 | 1,200 |
| D | 900 | 1,000 | 1,200 | |
| H *2 | 2,000 | 1,900 | 2,000 | |
| メンテナンススペース(mm) | 正面 | 800 | ||
| 背面 | 800 | |||
| ユーティリティ | 電気、N2、Air、工水、O2 *3、排気、筐体排気 | |||
*2 上部突起物(300mm)含まず。突起物は搬入時取り外し可能です。
*3 難分解性ガスを含む場合