水冷燃焼式バーナー
CooL Burner/Little CooL

SaaN Burner の燃焼分解能力はそのまま継承し、排ガスを水冷して排気風量を抑制します。
内蔵スクラバータイプは HF 等の副生成物も処理できます。
特長
- 排気風量の抑制
- 水冷却によって排ガス温度を下げ、排気風量を抑えます。この結果、後段設備・配管コストを低減できます。
- HF除去
- 内蔵スクラバータイプは装置内で HF 等の酸性成分を除去できます。
処理能力
処理対象ガス | 最大処理濃度(%) | 出口濃度(ppm) | 分解率(%) |
---|---|---|---|
SiH4 | 2 | ≦ 5 | - |
NF3 | 2.5 | ≦ 10 | - |
C2F6 | 5 | - | ≧ 95 ※1 |
WF6 | 5 | - | ≧ 90 ※2 |
- ※1 最大処理量は標準の約 1/2
- ※2 SBRN-6000 シリーズのみ対応
処理対象ガスは代表的なものを記載しています。その他に関しては、当社までお問い合わせください。
仕様
シリーズ | Cool burner | Little Cool | |||
---|---|---|---|---|---|
標準仕様 (1000シリーズ)、 6000シリーズ |
酸素添加仕様 (3000シリーズ) |
標準仕様 (1000シリーズ)、 6000シリーズ |
酸素添加仕様 (3000シリーズ) |
||
処理対象装置 | CVD | ETCH | CVD | ETCH | |
入口濃度 | 高濃度対応可能 | 高濃度対応可能 | 高濃度対応可能 | 高濃度対応可能 | |
最大処理量(slm) (排気中のベースガス流量) |
800 | 800 ※CF4が含まれる場合400 |
400 | 400 ※CF4が含まれる場合100 |
|
バーナー搭載数 | 1 | 1 | 1 | 1 | |
処理ポート数 | 1~4 | 1 | 1~4 | 1 | |
寸法(mm) | W | 1650 | 1650 | 1400 | 1400 |
D | 1200 | 1200 | 1000 | 1000 | |
H | 1950 | 1950 | 1650※ | 1650※ | |
メンテナンススペース(mm) | 正面、右側面 800 背面 800 |
正面、右側面 800 背面 800 |
正面 800 背面 800 |
正面 800 背面 800 |
※1 バーナー当たりの処理量
Corona Burner(水冷式)

PV や液晶工場などの生産装置から大量に排出されるプロセス排ガスの処理に最適な大流量対応の燃焼式排ガス処理装置です。
特長
- 大流量処理
- 排ガスの大流量処理に最適な燃焼ガス高速旋回流を採用。
処理能力は最大 5m3/min まで対応可能。 - イニシャルコスト低減
- 火口構造の簡素化により、製作コストを大幅に削減。
- メンテナンス性の向上
- シンプルな構造によりメンテナンス性が大幅に向上。
仕様
シリーズ | 1000 | |
---|---|---|
冷却方式 | 水冷 | |
処理対象装置 | CVD | |
最大処理量(slm) (排気中のベースガス流量) |
1000 | |
バーナー搭載数 | 1 | |
処理ポート数 | 1~6 | |
寸法(mm)縦型 | W | 1600 |
D | 1200 | |
H | 1950 | |
メンテナンススペース(mm) | 正面、右側面、背面 800 |