1. HOME
  2. 製品一覧
  3. 排ガス処理装置
  4. 燃焼式排ガス処理装置
  5. 水冷燃焼式バーナー

水冷燃焼式バーナー

CooL Burner/Little CooL

SaaN Burner の燃焼分解能力はそのまま継承し、排ガスを水冷して排気風量を抑制します。
内蔵スクラバータイプは HF 等の副生成物も処理できます。

特長

排気風量の抑制
水冷却によって排ガス温度を下げ、排気風量を抑えます。この結果、後段設備・配管コストを低減できます。
HF除去
内蔵スクラバータイプは装置内で HF 等の酸性成分を除去できます。

処理能力

処理対象ガス 最大処理濃度(%) 出口濃度(ppm) 分解率(%)
SiH4 2 ≦ 5
NF3 2.5 ≦ 10
C2F6 5 ≧ 95 ※1
WF6 5 ≧ 90 ※2
  • ※1 最大処理量は標準の約 1/2
  • ※2 SBRN-6000 シリーズのみ対応

処理対象ガスは代表的なものを記載しています。その他に関しては、当社までお問い合わせください。

※1 バーナー当たりの処理量

仕様

シリーズ 1000
冷却方式 水冷
処理対象装置 CVD
最大処理量(slm)
(排気中のベースガス流量)
1000
バーナー搭載数 1
処理ポート数 1~6
寸法(mm)縦型 W 1600
D 1200
H 1950
メンテナンススペース(mm) 正面、右側面、背面
800

CONTACT

お問い合わせ

資料ダウンロード・お問い合わせは、以下メールフォームまたはお電話からお寄せください。