緊急除害装置 VEGA-ES
特殊材料ガス(半導体材料ガス)の容器置場やシリンダーキャビネット内などで万が一漏洩が発生した場合に、その有毒ガスを外気に拡散させることなく処理するための緊急事態用装置です。
特長
- 処理能力の高い最新の乾式除害剤を使用しています。
- 5型から40型までの豊富なラインナップを用意しました。さらに、バイパスライン無のA型、バイパスライン付のB型の2機種を用途に合わせて選べます。
- 省スペース性を考慮したコンパクトな設計です。
対象ガス
| 金属水素化物 | ハロゲン類 |
|---|---|
| AsH3、PH3、B2H6、SiH4、Si2H6、H2Se、GeH4 など。 | BCl3、HCl、BF3、F2 など。 |
能力
基本的には対象容器1本分の処理が可能です。（詳細は別途打ち合わせを願います。）
標準仕様
| シリーズ | 1000 | |||
|---|---|---|---|---|
| 除害筒型式 | 5型 | 20型 | 40型 | |
| 最大処理量 [m3/min] | 5 | 20 | 40 | |
| 寸法(mm) [A型] |
W | 2000 | 3000 | 2900 |
| D | 1200 | 1600 | 2000 | |
| H | 1740 | 2050 | 2000 | |
| 寸法(mm) [B型] |
W | 2300 | 3200 | 3600 |
| D | 1200 | 1600 | 2000 | |
| H | 1740 | 2100 | 2000 | |
| メンテナンススペース | 正面1000 | 正面1000 | 正面1000 | |
- ※バイパスライン無しのA型、有りのB型を選ぶことができます。
- ※ブロワーは標準装備しております。