供給装置

シリンダーキャビネット

大学・研究所から量産工場まで、高圧ガス保安法に準拠したシリンダーキャビネット(Cylinder cabinet)や特殊材料ガスを大量に供給するバルクガス供給システム(BSGS)をご提供します。

液晶、LED、PV(太陽光電池)向けに特殊材料ガス（半導体材料ガス）を大量に集中して供給することが可能な大流量供給型シリンダーキャビネットをご提供致します。