ガス精製装置
大陽日酸は窒素、酸素、水素、アルゴン、ヘリウムおよびアンモニアの精製装置のトップカンパニーです。 常温吸着、低温吸着およびゲッター式の各方式をご提供いたします。

ゲッター式(Ar,He)
窒素、メタン、酸素、二酸化炭素、一酸化炭素および水分などの不純物成分を特殊ゲッターで除去して、希ガスを超高純度に精製します。水素を除去する仕様も、オプションで承ります。

炭酸ガス精製装置
触媒作用および吸着作用によって、酸素、水分、揮発性有機酸(SO2)、揮発性塩基(NH3)、凝集性有機物(Decane)、非凝集性有機物(Toluene)、耐火性物質(HMDSO)を除去します。

インライン精製器
化学吸着、物理吸着により各種不純物成分を除去し、特殊材料ガスやバルクガスを超高純度に精製します。LPIシリーズとNanochem(ナノケム)シリーズの2種類をご用意しています。
Puremateシリーズ
Puremate1400

好評をいただいた1000シリーズをリニューアルした、新しいスタンダードモデルです。
Puremate1000 の高性能、高機能はそのままにコンパクト設計、省ランニングコストを実現したコストミニマムな精製装置です。
Puremate1100
手軽に小流量の高純度ガスをご使用されたいお客様向けの廉価モデルです。
精製方法 | 対象ガス (カッコ内は流量Nm3/hr) | ||||||
常温吸着 | N2 | Ar | He | O2 | H2 | NH3 |
CO2 |
(触媒+吸着) | (3~2000) | (3~100) | (3~100) | (2~100) | (3~100) | (6~100) | (100~300) |
ゲッター式 | Ar | He | |||||
(0.3~30) | (0.3~30) | ||||||
低温精製 | He | H2 | |||||
(10~500) | (10~500) |