低温吸着式(H2,He)
低温吸着式精製装置 H2:SPHL-1000series, He:SPRL-1000series
- 対象ガス:H2 , He
- 極低温まで冷却された吸着筒で O2、CO2、CO、CH4、N2、H2O を吸着除去します。
保証値
不純物 | INLET | OUTLET |
---|---|---|
ppb | ppb | |
O2 | 5000 | ≦0.1 |
CO2, CO, CH4 | 1000 | ≦0.1 |
N2 | 50000 | ≦0.1(SPHL)、≦1(SPRL) |
H2O | 10000 | ≦0.5 |
Particles | - | ≦1pce/cft、≧0.1μm |
Pressure | 0.7MPaG | ≧0.6MPaG |
標準仕様
シリーズ | 精製能力 (Nm3/h) | 外形寸法 W×D×H (mm) |
---|---|---|
1000 | 10 | 1500×1400×2100 |
30, 50 | 2000×1600×2300 | |
100, 150 | 2200×1700×2950 | |
200, 250 | 2600×1900×2950 | |
300 | 3000×2100×2950 | |
500 | 3000×2100×3000 |