常温吸着+ゲッター式(H2)
水素精製装置 SPHG-1400series
- 触媒作用にてO2, CO、吸着作用にてCO2, H2Oを除去します。
また、特殊ゲッター剤によるゲッタリング反応によってN2, CH4を除去します。
保証値
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INLET |
OUTLET | ||
|---|---|---|---|
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不純物濃度 ppb以下 |
O2 | 5,000 | ≦0.1 |
| CO2, CO | 1,000 | ≦0.1 | |
| CH4 | 100 | ≦1 | |
| N2 | 5,000 | ≦0.1 | |
| H2O | 10,000 | ≦1 | |
| Particles (個 / ft3) | － | ≦1 (≧0.1μm) | |
| 圧力 (MPa) | 0.5 | ≧0.4 | |
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。
標準仕様
| シリーズ | 精製能力 (Nm3/h) | 外形寸法 W×D×H (mm) |
|---|---|---|
| 1400 | 10 | － |
| 20 | － | |
| 30 | － | |
| 40 | － | |
| 50 | － |
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。