ゲッター式(Ar，He)
システム
- 対象ガス：Ar,He,H2
- モデル：Ar：SPAG / He：SPRG / H2 : SPHG
- 精製システム
- 特殊ゲッター剤によるゲッタリング反応によって不純物を除去します。
保証値
| 不純物 | INLET | OUTLET |
|---|---|---|
| ppb | ppb | |
| N2 | 2000 | ≦0.1 |
| CH4 | 100 | ≦0.1 |
| O2 | 100 | ≦0.1 |
| CO2 | 100 | ≦0.1 |
| CO | 100 | ≦0.1 |
| H2＊ | 100 | ≦0.5 |
| H2O | 2600 | ≦0.1 |
| Particles | － | ≦1pce/cft、≧0.1μm |
| Pressure | 0.5MPaG | ≧0.4MPaG |
- H2 除去モデルもあります。(Ar,He のみ)
- ご希望により標準外仕様についても、ご相談を承ります。
標準仕様
| シリーズ | 精製能力 (Nm3/h) | 外形寸法 W×D×H (mm) |
|---|---|---|
| 1400 | 1 | 600×400×1100 |
| 3 | 600×400×1100 | |
| 6 | 600×500×1550 | |
| 10 | 700×500×1650 | |
| 15 | 900×600×1750 | |
| 20 | 900×600×1750 | |
| 30 | 1100×700×1800 |