ゲッター式(Ar,He)

システム
- 対象ガス:Ar,He,H2
- モデル:Ar:SPAG / He:SPRG / H2 : SPHG
- 精製システム
- 特殊ゲッター剤によるゲッタリング反応によって不純物を除去します。
保証値
不純物 | INLET | OUTLET |
---|---|---|
ppb | ppb | |
N2 | 2000 | ≦0.1 |
CH4 | 100 | ≦0.1 |
O2 | 100 | ≦0.1 |
CO2 | 100 | ≦0.1 |
CO | 100 | ≦0.1 |
H2* | 100 | ≦0.5 |
H2O | 2600 | ≦0.1 |
Particles | - | ≦1pce/cft、≧0.1μm |
Pressure | 0.5MPaG | ≧0.4MPaG |
- H2 除去モデルもあります。(Ar,He のみ)
- ご希望により標準外仕様についても、ご相談を承ります。
標準仕様
シリーズ | 精製能力 (Nm3/h) | 外形寸法 W×D×H (mm) |
---|---|---|
1400 | 1 | 600×400×1100 |
3 | 600×400×1100 | |
6 | 600×500×1550 | |
10 | 700×500×1650 | |
15 | 900×600×1750 | |
20 | 900×600×1750 | |
30 | 1100×700×1800 |