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ゲッター式(Ar,He)

システム

対象ガス:Ar,He,H2
モデル:Ar:SPAG / He:SPRG / H2 : SPHG
精製システム
特殊ゲッター剤によるゲッタリング反応によって不純物を除去します。

保証値

不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
N2 2000 ≦0.1
CH4 100 ≦0.1
O2 100 ≦0.1
CO2 100 ≦0.1
CO 100 ≦0.1
H2* 100 ≦0.5
H2O 2600 ≦0.1
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG
  • H2 除去モデルもあります。(Ar,He のみ)
  • ご希望により標準外仕様についても、ご相談を承ります。

標準仕様

シリーズ 精製能力 (Nm3/h) 外形寸法 W×D×H (mm)
1400 1 600×400×1100
3 600×400×1100
6 600×500×1550
10 700×500×1650
15 900×600×1750
20 900×600×1750
30 1100×700×1800

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