ゲッター式(Ar,He)
アルゴン、ヘリウム精製装置 SPAG,SPRG -1400series

- 対象ガス:Ar / SPAG, He / SPRG
- 特殊ゲッター剤によるゲッタリング反応によって不純物を除去します。
保証値
不純物 | INLET | OUTLET |
---|---|---|
ppb | ppb | |
N2 | 2000 | ≦0.1 |
CH4, O2, CO2, CO | 100 | ≦0.1 |
H2* | 100 | ≦0.5 |
H2O | 2600 | ≦0.1 |
Particles | - | ≦1pce/cft、≧0.1μm |
Pressure | 0.5MPaG | ≧0.4MPaG |
・H2除去モデルもあります。
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。
標準仕様
シリーズ | 精製能力 (Nm3/h) | 外形寸法 W×D×H (mm) |
---|---|---|
1400 | 1, 3 | 650×450×1150 |
6 | 700×500×1650 | |
10 | 700×500×1650 | |
15, 20 | 900×600×1750 | |
30 | 1100×700×1800 |
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。