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炭酸ガス精製装置

炭酸ガス精製装置 SPDP-1400series

対象ガス:CO2
触媒作用および吸着作用によって触媒吸着にてO2、H2O、揮発性有機酸(SO2)、揮発性塩基(NH3)、凝集性有機物(Decane)、非凝集性有機物(Toluene)、耐火性物質(HMDSO)を除去します。


保証値

不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 5000 ≦1
H2O 1000 ≦1
揮発性有機酸(as SO2) 1000 ≦0.005
揮発性塩基(NH3) 1000 ≦0.5
凝縮性有機物(Decane) 50000 ≦0.15
⾮凝縮性有機物(Toluene) 10000 ≦1
耐⽕性物質(as HDMSO) ≦0.005
Particle ≦1pce/cft(0.1μm)
Pressure 0.7MPaG ≦0.6MPaG

標準仕様

シリーズ 精製能⼒ (Nm3/h) 外形⼨法 W×D×H (mm)
1400 10 600×650×1750
20, 30 900×800×1850
50 1000×900×1850
100 1300×1000×1950
200 1600×1200×1950
300 1700×1300×1950

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