不活性ガス精製装置  SPNP,SPAP,SPRP - 1400series

対象ガス：N₂ / SPNP , Ar / SPAP ,He / SPRP

触媒にて O2, CO, H2、吸着にて CO2 , H2O を除去します。

保証値

不純物	INLET	OUTLET
	ppb	ppb
O2, CO	1000	≦0.1
CO2	500	≦0.1
H2	1000	≦0.5
H2O	2600	≦0.1
Particles	－	≦1 pce/cft、≧0.1μm
Pressure	0.5MPaG	≧0.4MPaG

・メタン除去タイプもあります。
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。

標準仕様

酸素精製装置  SPOP-1400series

対象ガス：O2

触媒作用によって CH4、CO および H2 を除去、吸着作用によって CO2 および H2Oを除去します。

保証値

不純物	INLET	OUTLET
	ppb	ppb
CH4	30000	≦0.1
CO2	2000	≦0.1
CO, H2	1000	≦0.5
H2O	2600	≦0.1
Particles	－	≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure	0.5MPaG	≧0.4MPaG

・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。

標準仕様

水素精製装置  SPHP-1400series

対象ガス：H2

触媒作用によって O2 および CO を除去、吸着によって CO2 および H2O を除去します。

保証値

不純物	INLET	OUTLET
	ppb	ppb
O2	5000	≦0.1
CO2, CO	1000	≦0.1
H2O	10000	≦1
Particles	－	≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure	0.5MPaG	≧0.4MPaG

・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。

標準仕様

アンモニア精製装置  SPMP-1000series

対象ガス：NH3

触媒作用および吸着作用によってアンモニアガス中に含まれる不純物(O2およびH2O)を低濃度まで除去します。

保証値

不純物	INLET	OUTLET
	ppb	ppb
O2	5000	≦5
H2O	10000	≦10
Particles	－	≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure	0.3MPaG	≧0.2MPaG

標準仕様