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常温吸着式

常温吸着式 (N2)

システム

対象ガス:N2,Ar,He
モデル(型式)
N2:SPNP/Ar:SPAP/He:SPRP
精製システム
触媒にて O2・CO・H2、吸着にて CO2・H2O を除去します。

保証値

不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 1000 ≦0.1 *
CO2 500 ≦0.1 *
CO 1000 ≦0.1 *
H2 1000 ≦0.5 *
H2O 2600 ≦0.1 *
Particles ≦1 pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG

* Puremate1100 は≦1ppb

  • メタン除去タイプもあります。
  • ご希望により標準外仕様についても、ご相談を承ります。

標準仕様

シリーズ 精製能力 (Nm3/h) 外形寸法 W×D×H (mm)
1100 3 450×600×1650
6 450×600×1650
1400 6 400×600×1750
10 400×600×1750
20 400×600×1750
30 450×600×1750
50 600×700×1750
100 600×700×1750
200 1100×850×1750
300 1300×1000×1850
400 1300×1050×1850
500 1400×1100×1850
1000 1650×1300×1850
1500 1650×1900×2050
2000 1750×2000×2200

常温吸着式 (O2)

システム

対象ガス:O2
モデル: SPOP
精製システム
触媒作用によって CH4、CO および H2 を除去、吸着作用によって CO2 および H2Oを除去します。

保証値

不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
CH4 30000 ≦0.1 *
CO2 2000 ≦0.1 *
CO 1000 ≦0.5 *
H2 1000 ≦0.5 *
H2O 2600 ≦0.1 *
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG

* Puremate1100 は≦1ppb

  • 空気精製装置モデルもあります。
  • ご希望により標準外仕様についても、ご相談を承ります。

標準仕様

シリーズ 精製能力 (Nm3/h) 外形寸法 W×D×H (mm)
1100 2 450×600×1650
3 450×600×1750
1400 3 400×600×1750
6 700×700×1750
10 700×700×1750
20 700×700×1750
30 850×900×1750
50 1000×1000×1950
100 1250×1250×1950

常温吸着式 (H2)

システム

対象ガス:H2
モデル: SPHP
精製システム
触媒作用によって O2 および CO を除去、吸着によって CO2 および H2O を除去します。

保証値

不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 5000 ≦0.1
CO2 1000 ≦0.1
CO 1000 ≦0.1
H2O 10000 ≦0.1*
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG

* Puremate1100 は≦1ppb

  • ご希望により標準外仕様についても、ご相談を承ります。

標準仕様

シリーズ 精製能力 (Nm3/h) 外形寸法 W×D×H (mm)
1100 3 450×600×1650
6 450×600×1650
1400 6 400×600×1750
10 400×600×1750
20 400×600×1750
30 450×600×1750
50 600×700×1750
100 600×700×1750

常温吸着式 (NH3)

システム

対象ガス:NH3
モデル: SPMP
精製システム
触媒作用および吸着作用によってアンモニアガス中に含まれる不純物(O2およびH2O)を低濃度まで除去します。

保証値

不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 5000 ≦5
H2O 10000 ≦10
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.3MPaG ≧0.2MPaG

標準仕様

シリーズ 精製能力 (Nm3/h) 外形寸法 W×D×H (mm)
1400 6 500×650×1750
10 800×750×1750
20 900×800×1750
30 900×800×1750
60 1000×900×1750
100 1400×1100×1850
200 1400×1100×1850
300 1700×1300×1850

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