常温吸着式 (N2, Ar, He, O2, NH3, Air)
不活性ガス精製装置 SPNP,SPAP,SPRP -1100,1400series
- 対象ガス：N2 / SPNP , Ar / SPAP ,He / SPRP
- 触媒にて O2, CO, H2、吸着にて CO2 , H2O を除去します。
保証値
| 不純物 |
INLET |
OUTLET |
| ppb |
ppb |
| O2, CO |
1000 |
≦0.1 ＊ |
| CO2 |
500 |
≦0.1 ＊ |
| H2 |
1000 |
≦0.5 ＊ |
| H2O |
2600 |
≦0.1 ＊ |
| Particles |
－ |
≦1 pce/cft、≧0.1μm |
| Pressure |
0.5MPaG |
≧0.4MPaG |
＊Puremate1100は≦1ppb
・メタン除去タイプもあります。
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。
標準仕様
| シリーズ |
精製能力 (Nm3/h) |
外形寸法 W×D×H (mm) |
| 1100 |
3, 6 |
450×600×1650 |
| 1400 |
6, 10, 20 |
400×600×1750 |
| 30 |
450×600×1750 |
| 50, 100 |
600×700×1750 |
| 200 |
1100×850×1750 |
| 300 |
1300×1000×1850 |
| 400 |
1300×1050×1850 |
| 500 |
1400×1100×1850 |
| 1000 |
1650×1300×1850 |
| 1500 |
1650×1900×2050 |
| 2000 |
1750×2000×2200 |
酸素精製装置 SPOP -1100,1400series
- 対象ガス：O2
- 触媒作用によって CH4、CO および H2 を除去、吸着作用によって CO2 および H2Oを除去します。
保証値
| 不純物 |
INLET |
OUTLET |
| ppb |
ppb |
| CH4 |
30000 |
≦0.1 ＊ |
| CO2 |
2000 |
≦0.1 ＊ |
| CO, H2 |
1000 |
≦0.5 ＊ |
| H2O |
2600 |
≦0.1 ＊ |
| Particles |
－ |
≦1pce/cft、≧0.1μm |
| Pressure |
0.5MPaG |
≧0.4MPaG |
＊Puremate1100は≦1ppb
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。
標準仕様
| シリーズ |
精製能力 (Nm3/h) |
外形寸法 W×D×H (mm) |
| 1100 |
2 |
450×600×1650 |
| 3 |
450×600×1750 |
| 1400 |
3 |
400×600×1750 |
| 6, 10, 20 |
700×700×1750 |
| 30 |
850×900×1750 |
| 50 |
1000×1000×1950 |
| 100 |
1250×1250×1950 |
水素精製装置 SPHP-1100,1400series
- 対象ガス：H2
- 触媒作用によって O2 および CO を除去、吸着によって CO2 および H2O を除去します。
保証値
| 不純物 |
INLET |
OUTLET |
| ppb |
ppb |
| O2 |
5000 |
≦0.1 |
| CO2, CO |
1000 |
≦0.1 |
| H2O |
10000 |
≦0.1* |
| Particles |
－ |
≦1pce/cft、≧0.1μm |
| Pressure |
0.5MPaG |
≧0.4MPaG |
＊Puremate1100は≦1ppb
・ご希望により標準外仕様についてもご相談を承ります。
標準仕様
| シリーズ |
精製能力 (Nm3/h) |
外形寸法 W×D×H (mm) |
| 1100 |
3, 6 |
450×600×1650 |
| 1400 |
6, 10, 20 |
400×600×1750 |
| 30 |
450×600×1750 |
| 50, 100 |
600×700×1750 |
アンモニア精製装置 SPMP-1000series
- 対象ガス：NH3
- 触媒作用および吸着作用によってアンモニアガス中に含まれる不純物(O2およびH2O)を低濃度まで除去します。
保証値
| 不純物 |
INLET |
OUTLET |
| ppb |
ppb |
| O2 |
5000 |
≦5 |
| H2O |
10000 |
≦10 |
| Particles |
－ |
≦1pce/cft、≧0.1μm |
| Pressure |
0.3MPaG |
≧0.2MPaG |
標準仕様
| シリーズ |
精製能力 (Nm3/h) |
外形寸法 W×D×H (mm) |
| 1000 |
6 |
500×650×1750 |
| 10 |
800×750×1750 |
| 20, 30 |
900×800×1750 |
| 60 |
1000×900×1750 |
| 100, 200 |
1400×1100×1850 |
| 300 |
1700×1300×1850 |
空気精製装置 SPKP-1400series
- 対象ガス：Air
- 触媒吸着にてH2O、揮発性有機酸(SO2)、揮発性塩基(NH3)、非凝集性有機物(Toluene)を除去します。
保証値
| 不純物 |
INLET |
OUTLET |
| ppb |
ppb |
| H2O |
126000 |
≦100 |
| 揮発性有機酸(as SO2) |
0.07 |
≦0.005 |
| 揮発性塩基(as NH3) |
0.28 |
0.015 |
| ⾮凝縮性有機物(as Toluene) |
2.6 |
≦0.15 |
| Particle |
ー |
≦1pce/cft(≧0.1μm) |
| Pressure |
0.5MPaG |
≧0.4MPaG |
※酸素濃度変動を抑える機能があります。
標準仕様
| シリーズ |
精製能⼒ (Nm3/h) |
外形⼨法 W×D×H (mm) |
| 1400 |
100 |
1200×1000×1850 |
