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排ガス処理装置

半導体製造に使用されるガスの多くは、可燃性、自燃性、腐食性、毒性などの特性を持ちます。また、GWP(地球温暖化係数)が高いPFCガスもあります。
排ガス処理装置(除害装置)は、これらのガスを安全かつ確実に無害化処理する設備です。
大陽日酸は長年にわたって排ガス処理装置(除害装置)の開発・設計・製作を行っており、これらのノウハウをもとにご使用条件に最適な設備をご提供いたします。
精製装置(Purifier)、排ガス処理装置(abatement , scrubber)、モニタリング(Monitoring)および配管工事(Piping)の設計・製造・販売をしています。

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置

バーナーで燃焼させることにより排ガスを処理する装置です。空冷燃焼式、水冷燃焼式、小型燃焼式などの装置があります。

乾式除害装置 VEGA-JGS

乾式除害装置 VEGA-JGS

処理対象ガスに最適な乾式除害剤の組み合わせにより、確実に排ガスを処理します。研究用の小規模装置から工場用の大型装置まで豊富なラインナップを用意しています。

緊急除害装置 VEGA-ES

緊急除害装置 VEGA-ES

シリンダーキャビネット内などで万が一漏洩が発生した場合に、有毒ガスを外気に拡散させることなく処理するための緊急事態用装置です。

乾式PFC除害クリーンエスPF(昭和電工製)

分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し、水処理なしに除害可能な乾式排ガス処理装置です。

クリーニングNF3用JNFシリーズ

クリーニングNF3用JNFシリーズ

プラズマCVD装置からクリーニング時に排気されるNF3ガスを無害化するために、電気ヒーター加熱も併用した乾式排ガス処理装置です。

特定高圧ガスを使用する際の法的制約

一般高圧ガス保安規則第五十五条の各号を、掲載しています。

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