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乾式除害装置 VGNF

乾式除害装置 VGNF(クリーニングNF3用)

JNF

プラズマCVD装置からクリーニング時に排出されるNF3ガスを無害化するために電気ヒーター加熱も併用した乾式排ガス処理装置です。


特長

NF3ガスは前段の反応筒に充填した Si 系薬剤との反応により SiF4 ガスにします。
SiF4ガスは後段の吸着筒に充填した乾式薬剤により化学的に固定しますので確実に無害化処理できます。
除害工程において危険性の高い NF3 の重合物を生成しません。
分解方式はシンプルなドライプロセスであるため、NOx 発生が無く、排水等の設備は不要です。

仕様

型式名

VGNF-1000-700ET* VGNF-1000-1500ET VGNF-1000-5000ET VGNF-1000-10KLET
NF3除去可能量 (L/塔) 700 1500 5000 10000
最大総流量(L/min) 50 50 125 250
NF3最大流量 (L/min) 1 1 2.5 5
寸法W×D×H(mm) 1100×650×1650 1550×750×1850 1800×750×1850 1900×950×2000
重量(kg) 540 800 850 1450
電源 AC200V 3φ 30A AC200V 3φ 30A AC200V 3φ 75A AC200V 3φ 30A

* VGNF-1000-700ETはシリンダーキャビネットのベントパージ処理専用となります。

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