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クリーニング NF3 用 JNF シリーズ

クリーニング NF3 用 JNF シリーズ

プラズマ CVD 装置からクリーニング時に排気されるNF3 ガスを無害化するために電気ヒーター加熱も併用した乾式排ガス処理装置です。

特長

  • NF3 ガスは前段の反応筒に充填した Si 系薬剤との反応により SiF4 ガスにします。
  • SiF4 ガスは後段の吸着筒に充填した乾式薬剤により化学的に固定しますので確実に無害化処理できます。
  • 除害工程において危険性の高い NF3 の重合物を生成しません。
  • 分解方式はシンプルなドライプロセスであるため、NOx 発生が無く、排水等の設備は不要です。

仕様

シリーズ VGNF-700ET ※ VGNF-1500ET VGNF-5000ET VGNF-10KLET
最大処理量(L/min) 50 50 125 250
寸法W×D×H(mm) 1100×650×1650 1550×750×1850 1800×750×1850 1900×950×2000
重量(kg) 540 800 900 1450
電源 AC200V 30A AC200V 30A AC200V 75A AC200V 30A

※JNF-700ET はシリンダーキャビネットのベントパージ処理専用となります。
オプション:各種 2 筒切替型やブロワー内蔵型に対応できます

NF3 用 JNF 概略図

NF3 用 JNF 概略図

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