乾式除害装置 VEGA-JGS
処理対象ガスに最適な乾式除害剤の組み合わせにより、確実に排ガス処理を行います。研究用の小規模なものから生産工場用の大型装置まで豊富なラインナップで対応します。
特長
- 乾式薬剤により半導体材料ガスを化学的に固定しますので確実に無害化処理できます。
- M型は、除害筒を2筒収納した切替方式を採用しており、長期連続運転を可能にしました。
- シンプルなドライプロセスであるため、排水等の設備は不要です。
標準仕様
| 型式 | 20型 | 50型 | 100型 | 200型 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大処理能力 (L/min) |
100 | 250 | 500 | 1000 | |
| 除害筒径 (mm) |
203.2 | 304.8 | 457.2 | 660.4 | |
| 除害剤容量 (L/筒) |
22 | 55 | 110 | 220 | |
| 外刑寸法 W×D×H(mm) |
単筒式 | 550 × 500 × 1700 | 650 × 600 × 1900 | 800 × 700 × 1900 | 1000 × 900 × 1900 |
| 2筒式 | ー | 1150 × 600 × 1900 | 1400 × 700 × 1900 | 1800 × 900 × 1900 | |
| メンテスペース （制御盤無し） |
正面550 | 正面650 | 正面800 | 正面1000 | |
| メンテスペース （側面制御盤） |
正面550 （装置向かって） 左側面1000 |
正面650 （装置向かって） 左側面1000 |
正面800 （装置向かって） 左側面1000 |
正面1000 （装置向かって） 左側面1000 |
- ※ブロアー，フィルターはオプションです。
- ※ご使用されるガス種・流量をもとに、最適な除害剤・筒サイズを設計をいたします。