U-NACSⅡBS

U-NACSⅡBS は、液晶、LED、PV(太陽光電池)において特殊材料ガス(半導体材料ガス)を大量に集中して供給することが可能な大流量供給型シリンダーキャビネットです。
特徴
- コスト低減
- 容器交換業務の合理化や設備コストの低減が図れるため、トータルコストの削減を実現します。
- 安全性向上
- 容器交換頻度を低減させることにより、オペレーションのミスによるリスクを減少させ、LCD工場・半導体工場の安全性向上に寄与します。
- 高品位なガス供給
- 大型容器による大流量供給を実現し、供給するガスの品質を高品位に維持します。