1. HOME
  2. 製品一覧
  3. 排ガス処理装置
  4. 燃焼式排ガス処理装置
  5. 空冷燃焼式バーナー

空冷燃焼式バーナー

SaaN Burner

CVD プロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及び PFC 等の難分解性ガスを副生成物(NOx、CO等)を抑制し、高効率で燃焼分解します。

特長

  • コールドウォール
  • エアーカーテン効果による紛体付着防止

処理能力

処理対象ガス 最大処理濃度(%) 出口濃度(ppm) 分解率(%)
SiH4 2 ≦ 5
NF3 2.5 ≦ 10
C2F6 5 ≧ 95 ※1
WF6 5 ≧ 90 ※2
  • ※1 最大処理量は標準の約 1/2
  • ※2 SBRN-6000 シリーズのみ対応

処理対象ガスは代表的なものを記載しています。その他に関しては、当社までお問い合わせください。

仕様

シリーズ 3000(酸素仕様),5000、6000(W-CVD)
冷却方式 空冷
処理対象装置 CVD
最大処理量(slm)
(排気中のベースガス流量)
400 400×2系統 400×4系統 800 800×2系統 1000 2000
搭載バーナー数 1 2 3~4 1 2 1 1
処理ポート数/装置 1~4 2~6 3~6 1~4 2~6 1~4 1~4
寸法(mm)縦型 W 800 1500 1600 2000 2000 2000 2200
D 1400 800 1100 900 1100 1000 1200
H 1150(1900電装部込み) 1950 1950 1700 1950 1700 1700
メンテナンススペース(mm) 正面、背面、左右片面
800
全周
800
全周
800
全周
800
全周
800
全周 800 全周
1000

※1 バーナー当たりの処理量

Corona Burner(空冷式)

Corona Burner(空冷式)

PV や液晶工場などの生産装置から大量に排出されるプロセス排ガスの処理に最適な大流量対応の燃焼式排ガス処理装置です。

特長

大流量処理
排ガスの大流量処理に最適な燃焼ガス高速旋回流を採用。
処理能力は最大 5m3/min まで対応可能。
イニシャルコスト低減
火口構造の簡素化により、製作コストを大幅に削減。
メンテナンス性の向上
シンプルな構造によりメンテナンス性が大幅に向上。

仕様

シリーズ 1000 1000
冷却方式 空冷 空冷
処理対象装置 CVD CVD
最大処理量(slm)
(排気中のベースガス流量)
1000 3000
バーナー搭載数 1 1
処理ポート数 1~6 1~6
寸法(mm)縦型 W 1600 2400
D 1200 1200
H 1950 1500
メンテナンススペース(mm) 正面、右側面、背面
800
全周
800

提案例1.空冷+フィルターのご提案

提案例1.空冷+フィルターのご提案

提案例2.空冷+スクラバーのご提案

提案例2.空冷+スクラバーのご提案

提案例3.空冷+フィルター+スクラバーのご提案

提案例3.空冷+フィルター+スクラバーのご提案

CONTACT

お問い合わせ

資料ダウンロード・お問い合わせは、以下メールフォームまたはお電話からお寄せください。