空冷燃焼式バーナー
SaaN Burner
CVD プロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及び PFC 等の難分解性ガスを副生成物（NOx、CO等）を抑制し、高効率で燃焼分解します。
特長
- コールドウォール
- エアーカーテン効果による紛体付着防止
処理能力
| 処理対象ガス | 最大処理濃度（％） | 出口濃度（ppm） | 分解率（％） |
|---|---|---|---|
| SiH4 | 2 | ≦ 5 | － |
| NF3 | 2.5 | ≦ 10 | － |
| C2F6 | 5 | － | ≧ 95 ※1 |
| WF6 | 5 | － | ≧ 90 ※2 |
- ※1 最大処理量は標準の約 1/2
- ※2 SBRN-6000 シリーズのみ対応
処理対象ガスは代表的なものを記載しています。その他に関しては、当社までお問い合わせください。
仕様
| シリーズ | 3000（酸素仕様）,5000､6000（W-CVD) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷却方式 | 空冷 | |||||||
| 処理対象装置 | CVD | |||||||
| 最大処理量(slm) （排気中のベースガス流量） |
400 | 400×2系統 | 400×4系統 | 800 | 800×2系統 | 1000 | 2000 | |
| 搭載バーナー数 | 1 | 2 | 3～4 | 1 | 2 | 1 | 1 | |
| 処理ポート数／装置 | 1～４ | 2～6 | 3～6 | 1～４ | 2～6 | 1～４ | 1～４ | |
| 寸法(mm)縦型 | W | 800 | 1500 | 1600 | 2000 | 2000 | 2000 | 2200 |
| D | 1400 | 800 | 1100 | 900 | 1100 | 1000 | 1200 | |
| H | 1150(1900電装部込み） | 1950 | 1950 | 1700 | 1950 | 1700 | 1700 | |
| メンテナンススペース(mm) | 正面、背面、左右片面 800 |
全周 800 |
全周 800 |
全周 800 |
全周 800 |
全周 800 | 全周 1000 |
|
※1 バーナー当たりの処理量
Corona Burner（空冷式）
PV や液晶工場などの生産装置から大量に排出されるプロセス排ガスの処理に最適な大流量対応の燃焼式排ガス処理装置です。
特長
- 大流量処理
- 排ガスの大流量処理に最適な燃焼ガス高速旋回流を採用。
処理能力は最大 5m3/min まで対応可能。 - イニシャルコスト低減
- 火口構造の簡素化により、製作コストを大幅に削減。
- メンテナンス性の向上
- シンプルな構造によりメンテナンス性が大幅に向上。
仕様
| シリーズ | 1000 | 1000 | |
|---|---|---|---|
| 冷却方式 | 空冷 | 空冷 | |
| 処理対象装置 | CVD | CVD | |
| 最大処理量(slm) （排気中のベースガス流量） |
1000 | 3000 | |
| バーナー搭載数 | 1 | 1 | |
| 処理ポート数 | 1～6 | 1～6 | |
| 寸法(mm)縦型 | W | 1600 | 2400 |
| D | 1200 | 1200 | |
| H | 1950 | 1500 | |
| メンテナンススペース(mm) | 正面、右側面、背面 800 |
全周 800 |
|
提案例1.空冷＋フィルターのご提案
提案例2.空冷＋スクラバーのご提案
提案例3.空冷＋フィルター＋スクラバーのご提案
