空冷燃焼式バーナー
SaaN Burner（サーンバーナー）
CVDプロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及びPFC等の難分解性ガスを副生成物(NOx, CO等) を抑制し、高効率で燃焼分解します。
特長
- コールドウォール
- エアーカーテン効果による粉体付着防止
処理能力
| 処理対象ガス | 最大処理濃度（％） | 出口濃度（ppm） | 分解率（％） |
|---|---|---|---|
| SiH4 | 2 | ≦ 5 | － |
| NF3 | 2.5 | ≦ 10 | － |
| C2F6 | 5 | － | ≧ 95 ※1 |
| WF6 | 5 | － | ≧ 90 ※2 |
- ※1 最大処理量は標準の約 1/2
- ※2 SBRN-6000 シリーズのみ対応
処理対象ガスは代表的なものを記載しています。その他に関しては、当社までお問い合わせください。
仕様
| シリーズ | 3000（酸素仕様）, 5000, 6000（W-CVD) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷却方式 | 空冷式 | |||||||
| 処理対象装置 | CVD | |||||||
| 最大処理量(slm) （排気中のベースガス流量） |
400 | 400×2系統 | 400×4系統 | 800 | 800×2系統 | 1000 | 2000 | |
| 搭載バーナー数 | 1 | 2 | 3～4 | 1 | 2 | 1 | 1 | |
| 処理ポート数／装置 | 1～４ | 2～6 | 3～6 | 1～４ | 2～6 | 1～４ | 1～４ | |
| 寸法(mm)縦型 | W | 800 | 1500 | 1600 | 2000 | 2000 | 2000 | 2200 |
| D | 1400 | 800 | 1100 | 900 | 1100 | 1000 | 1200 | |
| H |
1150 |
1950 | 1950 | 1700 | 1950 | 1700 | 1700 | |
| メンテナンススペース(mm) | 正面、背面、左右片面 800 |
全周 800 |
全周 800 |
全周 800 |
全周 800 |
全周 |
全周 1000 |
|
※1 バーナー当たりの処理量
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