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排ガス処理装置|Heater

クリーニングNF3用 JNFシリーズ
プラズマCVD装置からクリーニング時に排気されるNF3ガスを無害化するために電気ヒーター加熱も併用した乾式排ガス処理装置です。
■ JNFシリーズ概略図
JNFシリーズ概略図
JNF-1500ET
特長
   ●  NF3ガスは前段の反応筒に充填したSi系薬剤との反応によりSiF4ガスにします。
   ●  SiF4ガスは後段の吸着筒に充填した乾式薬剤により化学的に固定しますので確実に無害化処理できます。
   ●  除害工程において危険性の高いNF3の重合物を生成しません。
   ●  分解方式はシンプルなドライプロセスであるため、NOx発生が無く、排水等の設備は不要です。
仕様
シリーズ 最大処理量
(L/min)
寸法
W×D×H(mm)
重量(kg) 電源
JNF-700ET 60 1100×650×1650 500 AC200V 25A
JNF-1500ET 50 1550×750×1850 800 AC200V 25A
JNF-5000ET 125 1800×750×1850 900 AC200V 55A
JNF-10KLET 300 1900×950×2000 1450 AC200V 25A
※  JNF-700ETはシリンダーキャビネットのベントパージ処理専用となります。
オプション:各種2筒切替型やブロワー内蔵型に対応できます