ナノケム
NANOCHEM (ナノケム)
大陽日酸の米国子会社である Matheson Tri-Gas.Inc で開発された特殊材料ガス（半導体材料ガス）用の精製器です。
Purifilter (ピュリフィルター)
ピュリフィルターは、ポイントオブユースでの小流量精製をターゲットに開発されたコンパクトなインライン精製器です。カートリッジには、高性能精製剤とフィルターが内蔵されており、ガス状不純物とパーティクルの両方を除去できます。
特長
- ラインフィルターとリプレースできるコンパクトサイズ。
- 設置時の大気混入を防止するために、出入口に特殊逆止弁「ポペットバルブ」が内蔵されています。
仕様
- 接続継手：両端とも 1/4”VCR オス互換(接続には同梱の特殊ガスケットを使用)
- 寸法：面間 84.1mm、直径 38.1mm
- 最高使用圧力：0.98MPa
- 最高使用温度：70℃
- 内蔵フィルター：0.003μm
- 流量：最大 3L/min ※1
- ライフタイム：下記の条件で約 2200 時間 ※2
精製対象ガス：窒素
流量：1L/min、連続稼動
不純物濃度：酸素 1ppm 水分 2ppm
- ※1 これは物理的に流すことのできる窒素換算の流量であり、この流量で不純物が除去できることを意味するものではありません。特定条件下での精製可能な最大流量については、当社までお問い合わせください。また流量特性（圧力損失）についても、当社までお問い合わせください
- ※2 ライフタイムは条件により異なります。特定条件下でのライフタイムについては、当社までお問い合わせください
ナノケム Lシリーズ
L シリーズは最大で 150L/min までの精製が可能な、壁掛け式の精製器です。
特長
- お客様の用途に応じて、最適なサイズを選択できます。
- 精製剤が 75%消耗された時点で検知するエンドポイントディテクターを装備 ※1
仕様
- 接続継手：入口 1/4”VCR メス、出口 1/4”VCR オス互換
- 最高使用圧力：0.98MPa
- 最高使用温度：70℃
- 内蔵フィルター：0.003μm
- ライフタイム：特定条件下でのライフタイムは、当社までお問い合わせください ※2
流量 ※3 ※4
| モデル | L-60 | L-300 | L-500 | L-2000 |
|---|---|---|---|---|
| 最大使用流量（ℓ/min） | 850 | 15 (50) | 50 (75) | 50 (150) |
- ※1 L-60 には装着できません。
- ※2 ライフタイムは条件により異なります。特定条件下でのライフタイムについては、弊社までお問い合わせください。
- ※3 これは物理的に流すことのできる窒素換算の流量であり、この流量で不純物が除去できることを意味するものではありません。特定条件下での精製可能な最大流量については弊社までお問い合わせください。また流量特性（圧力損失）についても弊社までお問い合わせください。
- ※4 カッコ内の数字は、精製対象ガスが窒素、入口圧力が 0.69MPa でハイフローオプションを選択した際の値です。