半導体製造装置の直前の末端精製を目的とした小型インライン式の精製器です。

仕様

使用圧力：0.97MPaG 以下

使用温度：常温

材質：ハウジング／SUS316L EP
フィルター／SUS316L(0.01μm)

継手：1/4” VCR オス

TYPE／精製ガス純度

OP(N2、Ar 用) ／H2、H2O 各 1ppb 以下
N2(N2、Ar 用) ／O2、H2O 各 1ppb 以下
P(O2 用) ／H2、H2O 各 5ppb 以下
P(H2 用) ／O2、H2O 各 1ppb 以下

※入口不純物濃度は、除去対象不純物各 100ppb 以下です。