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インライン精製器

ラインピュリファイヤー(LPI)

半導体製造装置の直前の末端精製を目的とした、小型インライン式の精製器です。

ナノケム

NANOCHEM (ナノケム)

米国子会社 Matheson Tri-Gas.Inc で開発された、特殊材料ガス(半導体材料ガス)用の精製器です。

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