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乾式PFC除害クリーンエスPF(昭和電工製)

分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し、水処理なしに除害可能な乾式排ガス処理装置です。

特長

  • 低温(600℃以下の温度)で高分解処理が可能です。
  • 給排水が必要ありません。
  • HFの2次処理が不要です。
  • 燃料、水を使用しないためCO2排出量が少なく環境負荷低減が可能です。

対象ガス

  • PFCガス…CF4,CH2F2,CO,C4F8,HFなど

能力

ガス種 装置入口濃度
[ppm]
装置出口濃度
MAX[ppm]
分解率
[%]
使用ガス CF4 〜 930 0.05 > 99.9
CH2F2 〜 12 < 0.01 > 99.9
C4F8 〜 105 0.9 99.1
CO 〜 2220 < 0.01 > 99.9
副生成ガス C2F4 〜 108 < 0.01 > 99.9
C2F6 〜 20 0.06 99.7
HF 〜 130 < 0.01 > 99.9
SiF4 〜 140 < 0.01 > 99.9
COF2 〜 120 < 0.01 > 99.9

標準仕様

シリーズ 100L反応器(大型)タイプ 40L反応器(小型)タイプ
クリーンエス
PF-H(2筒式)
クリーンエス
PF(2筒式)
クリーンエス
PF-Ⅰ(1筒式)
クリーンエス
PF-Ⅱ(2筒式)
クリーンエス
PF-Ⅲ(1筒式)
排ガス受入総量用役空気
含むPFC受入濃度最大1%
240L/min 120L/min 120L/min 120L/min 120L/min
装置サイズ 幅(W)[mm] 1,900 1,700 1,350 1,350 750
奥行(D)[mm] 1,000 850 950 720 800
高さ(H)[mm] 2,050 2,050 1,900 1,800 1,800
装置サイズ 電気[kWH] 4 4 2 2 1
空気(Dry Air)
[L/min]
40 20 20 20 20
処理ガス排気
[L/min]
240 140 140 140 140
筐体排気
[m3/min]
7 4 4 4 4

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