乾式PFC除害クリーンエスPF（RESONAC製）
分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し、水処理なしに除害可能な乾式排ガス処理装置です。
特長
- 低温（600℃以下の温度）で高分解処理が可能です。
- 給排水が必要ありません。
- HFの2次処理が不要です。
- 燃料、水を使用しないためCO2排出量が少なく環境負荷低減が可能です。
対象ガス
- PFCガス…CF4,CH2F2,CO,C4F8,HFなど
能力
| ガス種 | 装置入口濃度 [ppm] |
装置出口濃度 MAX[ppm] |
分解率 [％] |
|
|---|---|---|---|---|
| 使用ガス | CF4 | 〜 930 | 0.05 | > 99.9 |
| CH2F2 | 〜 12 | < 0.01 | > 99.9 | |
| C4F8 | 〜 105 | 0.9 | 99.1 | |
| CO | 〜 2220 | < 0.01 | > 99.9 | |
| 副生成ガス | C2F4 | 〜 108 | < 0.01 | > 99.9 |
| C2F6 | 〜 20 | 0.06 | 99.7 | |
| HF | 〜 130 | < 0.01 | > 99.9 | |
| SiF4 | 〜 140 | < 0.01 | > 99.9 | |
| COF2 | 〜 120 | < 0.01 | > 99.9 | |
標準仕様
| シリーズ | 100L反応器（大型）タイプ | 40L反応器（小型）タイプ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| クリーンエス PF-H(2筒式) |
クリーンエス PF(2筒式) |
クリーンエス PF-Ⅰ(1筒式) |
クリーンエス PF-Ⅱ(2筒式) |
クリーンエス PF-Ⅲ(1筒式) |
||
| 排ガス受入総量用役空気 含むPFC受入濃度最大1％ |
240L/min | 120L/min | 120L/min | 120L/min | 120L/min | |
| 装置サイズ | 幅(W)[mm] | 1,900 | 1,700 | 1,350 | 1,350 | 750 |
| 奥行(D)[mm] | 1,000 | 850 | 950 | 720 | 800 | |
| 高さ(H)[mm] | 2,050 | 2,050 | 1,900 | 1,800 | 1,800 | |
| 装置サイズ | 電気[kWH] | 4 | 4 | 2 | 2 | 1 |
| 空気(Dry Air) [L/min] |
40 | 20 | 20 | 20 | 20 | |
| 処理ガス排気 [L/min] |
240 | 140 | 140 | 140 | 140 | |
| 筐体排気 [m3/min] |
7 | 4 | 4 | 4 | 4 | |