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お知らせ

平成28年3月31日
『SiCエピタキシャル装置用パーツの受託洗浄サービス』のご案内
SiCエピタキシャル装置用パーツの受託洗浄サービス【VEGA®-BLAST】を始めました。

SiCエピプロセスでは、SiCウエハへの成膜と共に、装置内パーツへの成膜も同時に起こり、これは付着物として堆積していきます。これら付着物はある一定量以上となると、パーティクルの発生源となり、エピプロセスへの悪影響を及ぼします。
しかしながら、この付着物は容易に除去出来る物ではない為、ある程度の使用後、使い捨てせざるを得ない状況もあり、SiCパワーデバイスのコストアップ、如いては普及を遅らせる1つの問題となっていました。
今回当社が開発した、受託洗浄サービス【VEGA®-BLAST】は、ガス利用条件の最適化に基づくSiCケミカル除去技術、ガス分析技術を活用したパーツダメージ抑制技術、並びに、洗浄パートナーが有するパーツ管理ノウハウを組み合わせた新しいサービスとなります。

最近実施していますテスト洗浄の結果としては、新品パーツ使用時と大きな違いがない結果も得られており、パーツ再利用による製造コストの低減、SiCパワーデバイスの普及、省エネ社会の実現に貢献していきます。

デモ洗浄は、随時受け付けております。
お問い合わせはコチラより

VEGA-BLASTカタログ


洗浄写真例