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供給装置|シリンダーキャビネット U-NACS CCCampus

特殊材料ガス(半導体材料ガス)を安全かつ安定に供給する最も重要なアイテムがシリンダーキャビネット(Cylinder Cabinet)です。
大陽日酸では、あらゆる角度からシリンダーキャビネット(Cylinder Cabinet)の設計、製作を検討し、半導体製造工場に最も適した供給装置を御提供致します。
U-NACSⅡ
U-NACSⅡは、従来、皆様にご好評頂いておりましたU-NACSのリニューアルモデルです。

U-NACSの品質、機能、操作性及び安全性はそのままに、基本機能をシンプルに洗練させたコストミニマムなシリンダーキャビネット(Cylinder Cabinet)です。

また多様化するお客様のニーズにお応えすべく、オプションを自由に組み合わせることが出来ますので、用途に合わせた仕様をお選び頂けます。
U-NACSⅡTwin / Double
U-NACSⅡ
Twin / Double
■仕様
単独供給式 自動切替式
モデル 寸法
W×D×H (mm)
Single 500×600×2150
Twin / Double 800×600×2150
※ガスの消費量に応じて、より多くの容器を収納することもできます。
● ミニマムフットプリント
容器交換時の作業性を考慮しつつ、シンプルに洗練されたデザインで、コンパクトに設計しました。
● 容易な操作性
キャビネットは、8.4inchカラーLCDによるタッチパネルにて操作します。ユーザーフレンドリーな対話シーケンスによるオートパージ方式を採用しました。
● 自由な配管設計
ガス物性に応じてパージ機能(連結管形状)を選択することが出来ます。
連結管
Type
推奨ガス 構造 コスト VENT量
A 強腐食性ガス ブロック弁構造
B (標準) 毒性ガス、腐食性ガス ピッグテール
+VENT弁
C 非毒性の可燃性ガス
支燃性ガス
ピッグテール

詳細カタログのPDFはこちら
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C.C Campus
  Cylinder Cabinet for Campus
高圧ガス保安法対応
大学・研究室向き
手動式標準型シリンダーキャビネット
仕様
シリーズ 寸法
W×D×H (mm)
C.C Campus 450×350×1800
※ご希望により標準外仕様についても御相談承ります。

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