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精製装置|高純度ガス精製装置 Purimate

Puremate1400
従来、皆様にご好評頂いておりました1000シリーズをリニューアルした新しいスタンダードモデルです。
Puremate1000の高性能、高機能はそのままにコンパクト設計、省ランニングコストを実現したコストミニマムな精製装置です。
Puremate1100
手軽に小流量の高純度ガスをご使用されたいお客様向けの廉価モデルです。
Puremateシリーズ
Puremateシリーズ

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精製方法 対象ガス (カッコ内は流量Nm3/hr)
常温吸着
(触媒+吸着)
N2
(3~2000)
Ar
(3~100)
He
(3~100)
O2
(2~100)
H2
(3~100)
NH3
(6~100)
ゲッター式 Ar
(0.3~30)
He
(0.3~30)
低温精製 H2
(10~500)
常温吸着式 (N2,Ar,He)
システム
   ●  モデル
N2:SPNP/Ar:SPAP/He:SPRP
   ●  精製システム
触媒にてO2・CO・H2、吸着にてCO2・H2Oを除去します。
保証値
不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 1000 ≦0.1
CO2 500 ≦0.1
CO 1000 ≦0.1
H2 1000 ≦0.5
H2O 2600 ≦0.1
Particles ≦1 pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG
* Puremate1100は≦1ppb
メタン除去タイプもあります。
御希望により標準外仕様についても御相談承ります。
標準仕様
シリーズ 精製能力
(Nm3/h)
外形寸法
W×D×H (mm)
1100 3
6
450×600×1650
450×600×1650
1400 6
10
20
30
50
100
200
300
400
500
1000
1500
2000
400×600×1750
400×600×1750
400×600×1750
450×600×1750
600×700×1750
600×700×1750
1100×850×1750
1300×1000×1850
1300×1050×1850
1400×1100×1850
1650×1300×1850
1650×1900×2050
1750×2000×2200
SPAP/SPRPは100Nm3/hまで
常温吸着式 (O2)
システム
   ●  モデル
SPOP
   ●  精製システム
触媒作用によってCH4、COおよびH2を除去、吸着作用によってCO2およびH2Oを除去します。
保証値
不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
CH4 30000 ≦0.1
CO2 2000 ≦0.1
CO 1000 ≦0.5
H2 1000 ≦0.5
H2O 2600 ≦0.1
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG
* Puremate1100は≦1ppb
空気精製装置モデルもあります。
御希望により標準外仕様についても御相談承ります。
標準仕様
シリーズ 精製能力
(Nm3/h)
外形寸法
W×D×H (mm)
1100 2
3
450×600×1650
450×600×1750
1400 3
6
10
20
30
50
100
400×600×1750
700×700×1750
700×700×1750
700×750×1750
850×900×1750
1000×1000×1950
1250×1250×1950
常温吸着式 (H2)
システム
   ●  モデル
SPHP
   ●  精製システム
触媒作用によってO2およびCOを除去、吸着によってCO2およびH2Oを除去します。
保証値
不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 5000 ≦1
CO2 1000 ≦1
CO 1000 ≦1
H2O 10000 ≦1
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG
* Puremate1100は≦1ppb
御希望により標準外仕様についても御相談承ります。
標準仕様
シリーズ 精製能力
(Nm3/h)
外形寸法
W×D×H (mm)
1100 3
6
450×600×1650
450×600×1650
1400 6
10
20
30
50
100
400×600×1750
400×600×1750
400×600×1750
450×600×1750
600×700×1750
600×700×1750
常温吸着式 (NH3)
システム
   ●  モデル
SPMP
   ●  精製システム
アンモニアガス中に含まれる不純物(O2およびH2O)を、触媒作用および吸着作用によって極めて低濃度まで除去します。
保証値
不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 5000 ≦5
H2O 10000 ≦10
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.3MPaG ≧0.2MPaG
御希望により、標準外仕様についても御相談承ります。
標準仕様
シリーズ 精製能力
(Nm3/h)
外形寸法
W×D×H (mm)
1400 6
10
20
30
60
100
200
300
500×650×1750
800×750×1750
900×800×1750
900×800×1750
1000×900×1750
1400×1100×1850
1400×1100×1850
1700×1300×1850
ゲッター式 (Ar,He)
システム
   ●  モデル
Ar:SPAG/He:SPRG
   ●  精製システム
特殊ゲッター剤によるゲッタリング反応によって不純物を極限まで除去します。
保証値
不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
N2 2000 ≦0.1
CH4 100 ≦0.1
O2 100 ≦0.1
CO2 100 ≦0.1
CO 100 ≦0.1
H2 100 ≦0.5
H2O 2600 ≦0.1
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.5MPaG ≧0.4MPaG
H2除去モデルもあります。
御希望により標準外仕様についても御相談承ります。
標準仕様
シリーズ 精製能力
(Nm3/h)
外形寸法
W×D×H (mm)
1400 1
3
6
10
15
20
30
600×400×1100
600×400×1100
600×500×1550
700×500×1650
900×600×1750
900×600×1750
1100×700×1800
低温精製式 (H2)
システム
   ●  モデル
H2:SPHL
   ●  精製システム
極低温まで冷却された吸着筒でO2、CO2、CO、CH4、N2、H2Oを吸着除去します。
保証値
不純物 INLET OUTLET
ppb ppb
O2 5000 ≦0.1
CO2 1000 ≦0.1
CO 1000 ≦0.1
CH4 1000 ≦0.1
N2 50000 ≦0.1
H2O 10000 ≦0.5
Particles ≦1pce/cft、≧0.1μm
Pressure 0.7MPaG ≧0.6MPaG
御希望により、標準外仕様についても御相談承ります。
標準仕様
シリーズ 精製能力
(Nm3/h)
外形寸法
W×D×H (mm)
1400 10
30
50
100
150
200
250
300
500
1500×1400×2100
2000×1600×2300
2000×1600×2300
2200×1700×2950
2200×1700×2950
2600×1900×2950
2600×1900×2950
3000×2100×2950
3000×2100×3000