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精製装置|ラインピュリファイヤー LPI

ラインピュリファイヤー
半導体製造装置の直前の末端精製を目的とした小型インライン式の精製器です。
LPI
仕様
   ●  使用圧力:0.97MPaG以下
   ●  使用温度:常温
   ● 
材質: ハウジング/SUS316L EP
フィルター/SUS316L(0.01μm)
   ●  継手:1/4” VCRオス
TYPE/精製ガス純度
   OP(N2、Ar用)  /H2、H2O各1ppb以下
   N2(N2、Ar用) /O2、H2O各1ppb以下
   P(O2用) /H2、H2O各5ppb以下
   P(H2用) /O2、H2O各1ppb以下
LPI
 ※入口不純物濃度は、除去対象不純物各100ppb以下です。
規格
モデル 推奨流量
(ℓ/min)
精製能力
(Nm3)
外形寸法
(mm)
LPI-1-□ ≦ 0.5 270 φ34×84
LPI-5-□ ≦ 3 1,620 φ34×164
LPI-20-□ ≦ 10 5,400 φ48.6×188.4
LPI-50-□ ≦ 30 16,200 φ48.6×335.4
※ □の部分にはTYPE記号が入ります。