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受託サービス|お客様サイト分析サービス

お客様サイト分析サービス

お客様の課題

  • 実機(POU)ガス分析したい
  • お試し分析をしたい
  • 排気ガス分析をしたい
  • 材料ガスの熱分解性/プラズマ分解性を知りたい
  • 突発トラブルで、分析計を持ってない
  • リアルタイムで知りたい
  • 供給後の材料ガス成分について、知りたい。
分析例

活用例)

  • 材料の分解ガス成分特定
  • 材料のプラズマ分解性
  • チャンバークリーニング条件検討へと展開
  • プロセス条件検討へと展開

※注意事項

  • 事前に打ち合わせを実施し、分析内容の詳細を決定します。
  • 分析できないガス種が存在します。
  • 条件によって、分析不可の場合があります。