半導体製造に使用されるガスの多くは、可燃性、自燃性、腐食性、毒性などの特性を持ちます。また、GWP（地球温暖化係数）が高いPFCガスもあります。
排ガス処理装置(除害装置）は、これらのガスを安全かつ確実に無害化処理する設備です。
大陽日酸は長年にわたって排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作を行っており、これらのノウハウをもとにご使用条件に最適な設備をご提供いたします。