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排ガス処理装置|Vega-Clean Vega-ES

乾式除害装置 VEGA-JGS
処理対象ガスに最適な乾式除害剤の組み合わせにより、確実に排ガス処理を行います。
研究用の小規模なものから生産工場用の大型装置まで豊富なラインナップで対応します。
特長
   ●  乾式薬剤により半導体材料ガスを化学的に固定しますので確実に無害化処理できます。
   ●  M型は、除害筒を2筒収納した切替方式を採用しており、長期連続運転を可能にしました。
   ●  シンプルなドライプロセスであるため、排水等の設備は不要です。
VEGA-JGS
VEGA-JGS
仕様
型式 処理能力
(L/min)
除害筒径
(mm)
除害剤容量
(L/筒)
外形寸法
W×D×H (mm)
単筒式 並列2筒切替式
5型 25 101.6 5.5 500×450×1700
20型 100 203.2 22 550×500×1700
50型 250 304.8 55 650×600×1900 1150×600×1900
100型 500 457.2 110 800×700×1900 1400×700×1900
200型 1000 660.4 220 1000×900×1900 1800×900×1900
※  ブロアー,フィルターはオプションです。
※  ご使用されるガス種・流量を基に最適な除害剤・筒サイズを設計を致します。

詳細カタログのPDFはこちら
※別ウィンドウ(タブ)で表示されます。必要に応じて印刷・保存してください。表示にはお客様の情報入力が必要です。

ALD乾式除害装置 VEGA-JGSA
ALDプロセスにおける、プリカーサ―(有機金属類)を、当社独自開発の『Air系除害剤』で、『安全』に、『確実』に、『低価格』で処理致します。
大量処理(生産装置)用に、『燃焼式排ガス処理装置』もラインアップしております。
特長
   ●  Air系乾式薬剤により、有機金属類を完全酸化された状態で化学的に固定化しますので、確実に、安全に無害化処理できます。
   ●  有機金属鎖の不安定な状態での除害塔への堆積はありません。
   ●  シンプルなドライプロセスであるため、排水等の設備は不要です。
仕様
型式 処理能力
(L/min)
除害筒径
(mm)
除害剤容量
(L/筒)
外形寸法

W×D×H (mm)
ユーティリティー
ドライエアー 消費電力
20型 70 203.2 22 800×500×1700 30〜50 AC100V単相0.1kW
※  上記以外にも、ご使用されるガス種・流量に合わせて、最適な除害材・筒サイズを設計を致します。

詳細カタログのPDFはこちら
※別ウィンドウ(タブ)で表示されます。必要に応じて印刷・保存してください。表示にはお客様の情報入力が必要です。

緊急除害装置 VEGA-ES
特殊材料ガス(半導体材料ガス)の容器置場やシリンダーキャビネット内などで万が一漏洩が発生した場合に、その有毒ガスを外気に拡散させることなく処理するための緊急事態用装置です。
特長
   ●  処理能力の高い最新の乾式除害剤を使用しています。
   ●  5型から40型までの豊富なラインナップを用意しました。更にバイパスライン無のA型、バイパスライン付のB型の2機種を用途に合わせて選べます。
   ●  省スペース性を考慮したコンパクトな設計です。
対象ガス
   ●  金属水素化物…AsH3、PH3、B2H6、SiH4、Si2H6、H2Se、GeH4 など。
   ●  ハロゲン類 …BCl3、HCl、BF3、F2 など。
能力
   ●  基本的には対象容器1本分の処理が可能です。
(詳細は別途打ち合わせを願います。)
VEGA-JGS
VEGA-ES
仕様
シリーズ 1100
除害筒型式 5型 20型 40型
最大処理量 [m3/min] 5 20 40
寸法(mm)
[A型]
W 2000 3000 2900
D 1200 1600 2000
H 1740 2050 2000
寸法(mm)
[B型]
W 2300 3200 3600
D 1200 1600 2000
H 1740 2100 2000
※  バイパスライン無しのA型、有りのB型を選ぶことができます。
※  ブロワーは標準装備しております。