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排ガス処理装置|SaaN Cool Hercules CORONA

空冷燃焼式バーナー
  Saan Burner
CVDプロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及びPFC等の難分解性ガスを副生成物(NOx,CO等)を抑制し、高効率で燃焼分解します。
特長
   ●  コールドウォール
エアーカーテン効果による紛体付着防止
空冷燃焼式バーナー Saan Burner
Saan Burner
処理能力
処理対象ガス 最大処理濃度(%) 出口濃度(ppm) 分解率(%)
SiH4 2 ≦ 5
NF3 2.5 ≦ 10
C2F6 5 ≧ 95 ※1
WF6 5 ≧ 90 ※2
※1  最大処理量は標準の約1/2
※2 SBRN-6000シリーズのみ対応
●  処理対象ガスは代表的なガスのみ記載しておりますが、その他については弊社までお問い合わせ下さい。
仕様
シリーズ 3000 5000 / 6000
処理対象ガス(最大処理濃度5%) CF4、SF6 SiH4、NH3、NF3、N2O、C2F6、C3F8等。
WF6を含む場合は6000シリーズ
最大処理量
(希釈N2含む、L/min)
200 200 400 800
バーナー搭載数 1 1 1 1
処理ポート数 1~4 1~2 1~4 1~4
寸法(mm) 1700 1500 1500 1700
1000 800 800 1000
1950 1950 1950 1950
メンテナンススペース(mm) 700(全周)
1000(右側面)
600(全周) 600(全周) 700(全周)
1000(右側面)
※1  バーナー当たりの処理量

詳細カタログのPDFはこちら
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水冷燃焼式バーナー
  Cool Burner
SaaN Burnerの燃焼分解能力はそのまま継承し、排ガスを水冷して排気風量を抑制します。
内蔵スクラバータイプはHF等の副生成物も処理できます。
特長
   ●  排気風量の抑制
水冷却によって排ガス温度を下げ、排気風量を抑えます。この結果、後段設備・配管コストを低減できます。
   ●  HF除去
内蔵スクラバータイプは装置内でHF等の酸性成分を除去できます。
処理対象ガス 最大処理濃度(%) 出口濃度(ppm) 分解率(%)
SiH4 2 ≦ 5
NF3 2.5 ≦ 10
C2F6 5 ≧ 95 ※1
※1  最大処理量は標準の約1/2
●  処理対象ガスは代表的なガスのみ記載しておりますが、その他については弊社までお問い合わせ下さい。
仕様
シリーズ 3000 5000 Little Cool
(リトルクール)
処理対象ガス(最大処理濃度5%) CF4、SF6 SiH4、NH3、NF3、N2O、C2F6、C3F8
最大処理量 ※1
(希釈N2含む、L/min)
200 800 300 500
バーナー搭載数 1 1 1 1
処理ポート数 1~4 1~4 1~4 1~4
寸法(mm)※2 1600 1600 1200 1200
1200 1200 1100 1100
2050 2050 1600 1600
メンテナンススペース(mm) 800 (全周) 800 (全周) 1000 (正面)
800 (左右側面)
1000 (正面)
800 (左右側面)
※1  バーナー当たりの処理量

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SiC,GaN用H2バーナー
  Hercules Burner
SiCエピ装置およびGaN-MOCVD装置のプロセス排ガス中のH2ガスを燃焼燃料として有効利用した燃焼式排ガス処理装置です。
特長
   ●  化石燃料を使用しない燃焼方式。
炭酸ガス排出量を従来比80~90%削減
   ●  プロセス排ガス中のH2ガスを有効利用。
燃焼燃料を大幅に減らすことが出来るのでランニングコストの低減が可能です。
   ●  燃焼効率の向上による小型化。
設置面積を従来比60%削減。
Hercules Burner
Hercules Burner
仕様
シリーズ 1000
冷却方式 空冷 水空冷 水冷
処理対象ガス(最大処理濃度5%) NH3,H2
最大処理量
(希釈N2含む、L/min)
1000 1000 1000
バーナー搭載数 1 1 1
処理ポート数 1~4 1~4 1~4
寸法(mm) 1200 1600 1600
1000 1000 1000
1950 1950 1950
メンテナンススペース(mm) 1000(正面)
800(両側面)
1000(正面)
800(両側面)
1000(正面)
800(両側面)
※1  バーナー当たりの処理量

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PV,FPD用大型バーナー
  Corona Burner
PVや液晶工場などの生産装置から大量に排出されるプロセス排ガスの処理に最適な大流量対応の燃焼式排ガス処理装置です。
特長
   ●  大流量処理
排ガスの大流量処理に最適な燃焼ガス高速旋回流を採用。
処理能力は最大5m3/minまで対応可能。
   ●  イニシャルコスト低減
火口構造の簡素化により、製作コストを大幅に削減。
   ●  メンテナンス性の向上
シンプルな構造によりメンテナンス性が大幅に向上。
< Saan Burner >
Saan Burner
< Corona Burner >
Corona Burner
火口構造
仕様
シリーズ 1000
冷却方式 空冷 水空冷 空冷 水空冷 空冷 水空冷
処理対象ガス(最大処理濃度5%) SiH4,NH3,NF3,C2F6,C3F8
最大処理量(希釈N2含む、L/min) 1000 3000 5000
バーナー搭載数 1 1 1
処理ポート数 1~6 1~6 1~10
寸法(mm)縦型 1500 1900 1500 1900 1700 1900
1300 1300 1300 1300 1500 1300
2450 2450 2450 2450 2450 2450
寸法(mm)縦型 2450 2450 2450 2450 2450 2300
1210 1210 1210 1210 1450 1500
1600 2300 1600 2300 1600 2450
メンテナンススペース(mm) 1000(正面、背面)
800(左側面)
1000(正面、背面)
800(左側面)
1200(正面)
1000(背面)
800(左側面)
※1  バーナー当たりの処理量