ホーム

工業ガス・高圧ガス|供給・精製・排ガス処理装置、モニタリング、配管工事、分析装置

お知らせ

平成28年3月31日
『SiCエピタキシャル装置用パーツの受託洗浄サービス』のご案内
平成28年2月29日
機器ウェブカタログをリニューアルしました。
平成28年2月15日
「お知らせ」を改修しました。
平成26年2月20日
英文バージョンをアップしました
一覧を見る

大陽日酸は半導体、液晶、有機EL、PV(太陽電池)、LED , SiCパワーデバイスおよびMEMS向けのシリンダーキャビネット(Cylinder cabinet)、バルクガス供給システム(BSGS)、精製装置(Purifier)、排ガス処理装置(abatement , scrubber)、モニタリング(Monitoring)および配管工事(Piping)の設計・製造・販売をしています。

CVD、エッチャー(Etcher)、インプラ(Ion implantation)などの生産装置に合わせた最適システムを御提供しています。

また、研究評価用のオーダーメイド品から量産工場の大型設備まで対応しています。